双面研磨机18B机型 (1)

双面研磨机18B机型 (1)

编号：YM-13.9BY(P) /YM-16.6BY(P)/ YM-18.5BY(P)

一、 设备用途
1.本设备可用于玻璃、陶瓷片、蓝宝石衬底、硅片、蓝宝石衬底、其它半导体材料等非金属和金属的硬脆性材料薄形精密零件的上、下两平行端面的同时磨削及抛光。

二、 设备结构特点
2.1.采用上下磨盘双变频电机独立驱动，上盘转速可调节，使整机工作时起动平稳、运转稳定，尤其在低速运转时，克服了上、下研磨盘的窜动、爬行现象。
2.2. 太阳轮由变频电机独立控制，可以通过软件调节行星轮公转及自转速度，彻底和下盘电机分离，非常适合客户进行多种工艺的选择要求。
2.3. 内齿圈、太阳轮及行星轮采用渐开线齿形的柱销结构，增加了行星轮的强度，并且减少内齿圈及太阳轮的磨损、方便维护。内齿圈及太阳轮安装了专用的同步升降机构，方便客户对内齿圈及太阳轮高度进行同步调整。
2.4. 整机主要受力齿轮采用强化齿轮，并且通过严格的调质和淬火处理，各受力传动零件的强度与刚度较大提高，上盘自重800KG最高加压1200KG。同时，也减少整机噪音和震动。
2.5. 专用设计的简易式减速机更换结构，可以方便客户依据产品选择不同减速比的减速机，可以依据客户产品定制特殊要求转速产品。
2.6. 采用PLC程序控制器，控制整机的动作，实现研磨盘分独立控制的十六个阶段，每个阶段的压力、转速均可以平稳的逐步增减调节，自动化程度高，并由与之匹配的专业大屏幕触摸屏作界面，显示当前整机状态，实现人机对话，操作一目了然。
2.7. 主气缸安装交叉式铰链锁紧机构，可方便、安全锁定上研磨盘。
2.8. 传动齿轮由自动加油泵定时集中润滑，维护简单，使用寿命长。
2.9. 标准五电机配置方案，完全实现了上研磨盘、下研磨盘、太阳轮、内齿圈和太阳轮内齿圈同步升降的独立控制，互不干扰。客户在实现各种复杂工艺时更加得心应手。

三、 主要技术参数

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