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双面研磨/抛光机

编号：YM-20.5BY-T/YM-20.5BP-T

描述

一、机器用途概述

本机器广泛应用于大尺寸晶圆、压电晶体、化合物半导体、硅晶体、光学玻璃、以及其他硬脆性材料的精密双面研磨/抛光。
本机器使用20寸游星轮载具，φ300mm的晶圆每盘可以生产5片，φ200mm的晶圆每盘可以生产15片。

二、机器结构说明

本机器根据客户使用需求，和操作人员的操作习惯，整机的稳定性以及使用性能都做了很大的改进，上磨盘横梁为龙门式结构，使整机器刚性更好，更稳定。
上磨盘的上升，下降，慢升，慢降，集中在一个手柄控制,操作简单方便。
上、下盘传动齿轮采用斜齿齿轮,齿轮精度达GB-6HK，材料用45#钢高频淬火。保证了平稳性、耐磨性，以及机器的整体传动的刚性和运转精度。
整机采用三电机驱动，太阳轮变速范围更广。可以任意控制工作速度比，能满足不同研磨工艺的要求.变频电机配变频器实行软启动，软停止，使调速，停机平稳，冲击小等优点。
内齿圈升降，由伺服电机和减速机驱动梯形丝杆，升降平稳，无抖动，对齿圈升降采用点动方式，能控制齿圈升降高度，确保齿圈全长均匀磨损，延长其使用寿命。
本设备除做双面研磨抛光外，还可以加工2.5D或3D曲面的单面抛光。
电气采用PLC控制，PT人机界面显示设备各项运行参数，压力采用电气比例阀控制，配合精密压力传感器检测，使磨盘重量压力控制更精确.
整机采用自动定时润滑，提高了整机寿命。
内部全部采用硬齿面齿轮变频减速机, 提高了配件的使用寿命.
磨液桶采用双层降温,减少了因为高温造成产品不良影响和造成产品的缺陷.

三、主要技术参数

序号	项目	参数
1	上、下研磨/抛光盘规格	Φ1380Φ43250
2	游星轮规格	模数m=3 分度圆Φ510 齿数z=170
3	放置行星轮个数	3≤n≤5
4	研磨/抛光工件最大尺寸	Φ460（矩形工件对角尺寸）
5	研磨/抛光工件厚度	0.3-35mm
6	齿圈升降高度	0-50mm
7	下研磨盘转速	0-50rpm
8	上研磨盘转速	0-36rpm
9	太阳轮转速	0-24rpm
10	下盘电机减速机	K87-11KW
11	上盘电机减速机	K77-7.5KW
12	太阳轮电机减速机	RV090-2.2KW
13	主气缸	SAI200-400S
14	机床额定功率	合计约23KW
15	电源电压	三相五线 AC380v
17	气源压力	0.5-0.6mpa
18	设备外型尺寸	2300mm1800mm2780mm
19	设备质量	≈7000KG

四、基本装机要求

4.1. 设备规格尺寸(长×宽×高)：2300mm*1800mm*2780mm
4.2. 设备重量：≈7000kg
4.3. 设备功率：23KW
4.4. 电源要求：
额定电源电压：三相380V/50HZ      额定电流：≈35A
线制：三相五线制
其它：必须保证可靠接地，并且远离如焊机等干扰源。
4.5. 压缩空气源要求：
压力： 0.6 MPa
接口：尼龙气管Φ10
其它：气源部分必须加装有效干燥设备
4.6. 清水源要求：
压力： 0.25MPa 以上
接口： PVC纤维编织软管19*22mm
4.7.排污口要求：
接口： PVC钢丝软管Φ75
4.8.冷却水要求：
压力：0.6MPA      温度：17℃~18℃
接口：PVC钢丝软管Φ19

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