晶圆倒角机

一、设备介绍说明
1.1本设备主要适用6寸到8寸晶圆倒角机，采用全自动机械手自动上下料；
1.2设备主体构件采用大理石加铸件结构，铸件通过热处理工艺消除应力，保证机身稳定不变形，从而保证设备精度。
1.3机床关键部件导轨采用进口精密级，保证机床的高精度。具有高强度导向和运动平稳性，适合高速加工：机床采用进口研磨级丝杆，传动精度高，能确保长时间内机械误差。
1.4运动驱动采用高精度伺服系统。
1.5采用日本基恩仕高精度光栅测量仪，自动定心，确保加工精度。
1.6专业三重全防水结构设计,在最恶劣的工况环境下，也能确保丝杆导轨不受污染。

二、设备安全配置说明
2.1配有接触式安全门开关，安全门未关闭设备无法启动，保证操作人员安全。
2.2. 电箱门配有接触式安全开门，打开电箱检修时，设备自动断电。
2.3.全罩防水设计。
2.4.  开机前必须检查并确认冷却系统、润滑系统供应是否正常工作。
2.5. 设备旋转时严禁开门用手触摸内部任意部件，避免意外伤害。
2.6.注意经常清理机器内部的残屑，以保证设备正常工作。
2.7.设备工作台上禁止放置任何除加工产品以外的东西影响设备正常运行
2.8  设备运行过程中禁止依靠或趴在设备上，以免伤人。
2.9  加工前一要正确定义各轴的坐标，更换耗材后必须立即重新定义Z轴起到点。
2.10设备运行程序时需先使用手动模式，确保程序、坐标正常。

三、主要规格参数
 

序号	项目		参数
1	最大晶圆加工尺寸		8寸
2	最小晶圆加工尺寸		6寸
3	晶圆料盒		4个
4	四轴行程	X轴	840
		Y轴	180
		Z轴	40
		C轴	360º
5	主轴	功率	12KW
		最高转速	24000rpm
		额定转矩	14.2（Nm）
		电压	380V
6	最快空程移动		12000mm
7	最高进给速度		9000mm
8	XYZ轴定位精度		0.008mm/300mm
9	XYZ轴重复定位精度		0.004mm/300mm
10	圆心定位检测精度		0.004mm/360º
11	厚度检测精度		0.008mm
12	真空压力		-0.05~-0.07Kpa
13	空气压力		0.5~0.6MPa
14	供电电压		AC380V 50HZ
15	机床功率		15KW
16	机床重量		约2500kg
17	外形尺寸		2000ｘ1400ｘ2200mm（允许误差100mm）

        






























三、设备精度参数表

 

设备精度参数表
序号	内容	标准
1	X轴轴线运动的直线度	≤0.01/全行程
2	Y轴轴线运动的直线度	≤0.01/全行程
3	Z轴轴线运动的直线度	≤0.01/全行程
4	X轴轴线运动与Y轴轴线运动间的垂直度	≤0.02
5	Z轴轴线运动与X轴轴线运动的垂直度	≤0.02
6	Z轴轴线运动与Y轴轴线运动的垂直度	≤0.02
7	主轴轴线与X轴轴线运动间的垂直度	≤0.02（直径300）
8	主轴轴线与Y轴轴线运动间的垂直度	≤0.02（直径300）
9	主轴锥孔的径向跳动	/≤0.01
10	X/Y/Z轴 定位精度	≤0.008
11	X/Y/Z 轴重复定位精度	≤0.004
12	真圆度检测	≤0.015

 

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